Akrion获千万美元单晶圆清洗系统订单

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Akrion获千万美元单晶圆清洗系统订单

新闻出处：电子生产设备资讯网发布时间：2007-11-15

    总部位于美国宾夕法尼亚州Allentown的单圆片与化学清洗系统供应商Akrion日前接获一家来自亚洲芯片制造商的价值超过1000万美元的订单。订购的4台Velocity6（TM）单晶圆系统将用于DRAM和NAND闪存芯片的关键清洗制程。
      Velocity系统的配置十分灵活，对于FEOL（前段制程）和BEOL（后段制程）应用均可胜任。该系统可搭载的技术包括JetStream（TM）和JetStream-Nano（TM）喷雾技术，以及专利的用于高效颗粒清除、低关键尺寸损耗的Goldfinger（TM）兆声清洗技术。Velocity系统亦提供Sahara（TM）和Sahara-HT（TM）无水印干燥技术，能够通过节省昂贵的化学试剂的使用降低客户的设备拥有成本。
       Akrion的总裁兼CEO James S. Molinaro表示，Akrion的Velocity系统所提供的先进技术能为客户
提供极大的灵活性，并提高其前段与后段制程的良率。

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